장비 상세보기

장비기본정보

기관명
(재)철원플라즈마산업기술연구원
장비명
OLED 조명소자 공정 및 패키징 장비 (OLED In-Line Deposition)
모델명
Sunicel plus 200L
제작사(국가)
㈜선익시스템(대한민국)
제작년도
2011
용도
생산
분류
기계가공
취득일
2011.12.31
장비설명
In-line 연속/자동화 공정으로 200 x 200 mm2 기판의 OLED 조명소자 제작
유효 발광 면적 : 170 x 170 mm2
저분자 유기물질의 열증착을 통한 성막
금속물질의 열증착 혹은 Sputter 공정

OLED 조명소자 공정장비는 tact time 6분 이내의 In-Line Concept을 적용한 시스템으로 Linear Source를 적용함. 최대 기판의 크기는 200X200 mm2 이며, 발광유효증착면적비율은 81%임. 증착시스템은 유기물 증착 챔버 2종과 메탈 챔버 1종으로 구성되고 2E-7 Torr 이상의 고진공에서 공정이 진행되며, 기판과 마스크간의 공차는 150um 이하이고, 유무기 박막의 균일도는 3% 이내임. 플렉시블조명, 감성조명, 투명조명 등의 향후 발전전망에 따라 봉지공정을 Glass 봉지 방식과 유기물과 무기물을 다층으로 적층하는 Thin Film Encapsulation System 을 장착함.
장비구성

성능
기판규격 : 200mm x 200mm (0.5~1T)
유효 발광 면적 : 170 x 170 mm2

Loadlock & Plasma Treatment Chamber
기판 10장 수용, RF Plasma Treatment

Organic Chamber
Linear Type Organic Crucible: 17종
Thermal Evaporation Deposition System
Dry Pump & Cryo Pump (5x10-7 torr)
Metal Chamber
혼합 RF Sputter & Thermal Deposition
Thermal Deposition Metal Source: 2종

Glass & Thin Film Encapsulation System
Glove Box 내 기판이송을 통한 소자제작-Encapsulation 공정 일체화
Dispenser 장비를 통한 Encapsulation Resin 분사의 반 자동화 기능 지원
NTIS NO
NFEC-2012-03-157235
E-Tube NO

장비이용안내

사용방법
기관의뢰
사용료유형
건당
이용료
설치형태
고정
설치장소
강원 철원군 서면 금강로 7194 .(재)철원플라즈마산
장비상태
정상
담당자
신정철
연락처
0334529881
팩스
0334529883
사용방법
전화
 

주소: (24062) 강원특별자치도 철원군 서면 금강로 7194 (재)철원플라즈마산업기술연구원 TEL/033-452-9881~2 FAX/033-452-9883
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